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质量流量控制器
- 型号：
- ZF-MFC-1C
- 产品概述：
- ZF-MFC-1C是一款防腐型单路气体质子流量控制器，结构小巧，操作方便，可用于气体流量的精确测量和控制，流量范围0~100，200，300，500SCCM可选，可与本公司管式炉、CVD系统、熔炼铸造炉、镀膜设备等配套使用，直接数字设定流量，稳定可靠，操作方便。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
| 产品特点
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·防腐型单路气体质子流量控制器，结构小巧
·DC15V电压驱动
·流量数显设定显示，稳定可靠，操作方便
·流量范围：0~100,200,300,500SCCM可选
·配备RS485计算机接口，同时可输出4~20mA信号，用于计算机与远程仪表的连接控制
·标配N2气标定
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| 工作电源
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·AC220V，50/60Hz，7.5W
·配备AC220V转DC15V电源适配器
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| 流量范围
|
·0~100,200,300,500SCCM四种规格可选，特殊规格可定制 |
| 材质
|
·316不锈钢阀体，耐腐蚀 |
| 准确度
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·±2%FS |
| 控制精度
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·±1%FS（恒流） |
| 线性
|
·±2%FS |
| 工作压差范围
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·0.1~0.5MPa |
| 最大工作压力
|
·0.5MPa |
| 设定流量方式
|
·键入式 |
| 进出口阀门
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·Φ6.35mm卡套式接头 
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| 工作环境温度
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·-10~50℃ |
| 产品尺寸
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·168mm L*30mm W*132mm H |
| 产品重量
|
·0.92kg |
| 质保期
|
·一年保质期，终生维护 |
| 使用注意事项
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·ZF-MFC-1C可用于腐蚀性气体的流量测量与控制，如NH3等
·出厂时采用氮气（N2）标定，如通入其他气体时，需要对照说明书中不同气体流量转换系数表进行流量换算
·注意工作压差，使用时进出气两端工作压差在0.15~0.5MPa范围内 
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公司环境
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