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膜厚监测仪
- 型号：
- EQ-TM106
- 产品概述：
- EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理，结合先进的频率测量技术，进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中，对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。根据实时速率可以输出PWM模拟量，作为膜厚传感器使用，与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
| 主要特点
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本机可与计算机连接。 显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点，可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM 控制输出的百分比等工作状态。 通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置，并可将所测相关数据写入Excel文件。 具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。
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| EQ-TM106-1监测组件
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电源：DC 5V（±10%），最大电流400mA 频率分辨率：±0.03Hz 膜厚分辨率：0.0136Å（铝） 膜厚准确度：±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置，材料应力，温度和密度 测量速度：100ms-1s/次，可设置 测量范围：500000Å（铝） 标准传感器晶体：6MHz 计算机接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8，停止位：1，校验：无） 模拟输出：8比特分辨率，PWM脉宽调制输出（集电极开路或内部5V输出） 工作环境：温度0-50℃，湿度5%-85%RH，不得有冷凝水珠 外形尺寸：90mm×50mm×18mm
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| EQ-TM106-2显示仪
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| EQ-TM106-3探头
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| 标准配件
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1EQ-TM106-1监测组件1个2EQ-TM106-2显示仪1台3EQ-TM106-3探头1个 |
| 质保期
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一年质保期，终身维护 |
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