| 设备名称型号 | PECVD系统 OTF-1200X-II-80-4CLV-PE（带滑轨） |
| 产品特点 | · 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度 · 滑轨炉可使样品快速加热和快速冷却 · 加热炉含有两个温区，温度梯度最大可达200℃ · 可制备碳、氧化锌纳米管或纳米线及单层石墨烯等 |
| 滑轨炉参数 | · 电源：AC220V/50HZ · 功率：3.0KW · 加热区长度：200mm*2 · 最高温度：1200度（≤30min） · 工作温度：1100度 · 热电偶：K型 · 智能化仪表，PID控制，30段程序控温 · 炉体可滑动位移：600mm · 炉管尺寸：φ80*1400mm
|
| 法兰 | · 标配一套不锈钢真空法兰 · 进气端法兰上安装了一个机械压力表用于观察炉管内的压力，压力表范围-0.1-0.15MPa；一个φ6.35的卡套接头作为进气口使用，并通过一个不锈钢针阀控制进气的通断 · 出气端法兰包含一个φ8mm宝塔气嘴的出气口，并通过一个不锈钢针阀控制出气的通断。一个KF25接口为抽真空接口，用于连接真空系统。一个KF16的接口用于连接电阻真空计。
|
| 真空系统 | · 电源：AC220V/50Hz · 功率：0.55KW · 极限真空度：5.0*10-1Pa（无负载） · 抽气速率：3L/s · 抽气口：KF25接口 · 可选配真空度更高的系统
|
| 供气系统 | · 型号：GSL-4Z-LCD · 质量流量控制器：100SCCM、200SCCM、200SCCM、500SCCM · 量程可以选配 · 精度：±1.5%FS · 最大压力：0.3MPa · 内部连接1/4英寸不锈钢和聚四氟管 · 内置不锈钢混气罐
|
| 射频电源 | · 功率输出范围：0-500W · 功率稳定度：≤±5W · 射频频率：13.56MHZ · 自动匹配 · 噪音：≤50dB · 冷却方式：风冷
|
| 设备外形尺寸 | 约2300长*700宽*1380mm高
|
| 设备重量 | 约240KG |
| 质保 | 一年质保期，终生维护 |
· 特别提示： 1、耗材部分如加热元件、炉管、样品坩埚等不包含在内 2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 |
· 石英管内的气压不可高于0.02MPa； · 气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全； · 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开出气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 |
查看诚信档案
皖公网安备 34012302000974号
