·腔体尺寸：1200 mm L x 740 mm W x 900 mm H，材质不锈钢

·腔体前门设计为开启式，便于放置设备和样品。

·手套箱配有净化系统，可以快速去除手套箱内的O2和H2O

·净化系统安装有自动再生系统（自动对吸氧和吸水材料进行净化）

·净化系统确保手套箱内的O2和H2O含量低于1PPM

·2个不同过度仓，保证在不破坏手套箱气氛环境下，达到手套箱内外样品传递

·溅射仪镶嵌在手套箱底部，采用一个铰链式法兰把手套箱腔体和溅射仪腔体隔离开

·3个2英寸磁控溅射头，安装在溅射仪顶部

·3个溅射电源安装在一空控制单元盒内，置于手套箱外。请根据实验要求选择溅射电源：

         1个或2个直流电源：功率500W，用于溅射金属靶材（图1）

          1个或2个射频电源：功率300W，频率13.56MHz,用于溅射非导电性靶材。

·3个2英寸磁控溅射头，带有水冷夹层

·靶材直径要求：25mm

·靶材厚度范围：0.1~5mm

·设备中包含1个不锈钢靶材和氧化铝靶材用于仪器测试

·真空腔体尺寸：Φ300mm×300mm

·一个石英观察窗口，直径Φ100mm

·样品台可转动（为了薄膜均匀）和加热，采用陶瓷加热片加热，表面覆盖铜板

·样品台尺寸：直径140mm,可放置4英寸基片

·转动速度：1-120rpm(可调）

·样品台加热温度：室温-500℃（2小时），控温精度正负1℃

2个精密的气体质量流量计安装在设备上

  流速：0—200ml/min&0-100ml/min,可在触摸屏面板上设置参数

一个进气阀安装在设备上，用于破坏真空

需要纯度为5N的Ar气，来运行溅射镀膜仪

设备中配有一个抽气速率为240L/min的双级旋片真空泵

因为溅射仪与手套箱连接，所以不需要分子泵系统，手套箱内部惰性气体的水氧含量＜1PPM，远好于用分子泵的效果

一个数显温度可控的循环水冷机

     温度范围：5~35℃

     流量：16L/min

     泵压：0.1MPa

精密石英薄膜测后仪，可安装在溅射腔体内，实时检测薄膜厚度，显示精度为0.1Å

·单相220 VAC 50 / 60 Hz

·3000 W (包括真空泵和循环水冷机)