基本参数 | ·小型开启式立式管式炉 ·工作电压:208~240VAC ·最大功率6KW ·加热区长度200mm ·额定温度:1600℃ ·一个程序温控器,独立控制1个温区,控温精度可达+/-0.1℃ ·用户在使用过程中需要自己找到合适的温度梯度 ·调节炉体打开的直径也可改变温度梯度 ·设备中包含刚玉管和不锈钢密封法兰 |
炉体移动机构 | ·采用伺服电机来驱动炉体上下移动 ·伺服电机+高精度直线模组保证炉体在移动过程中不卡顿 ·炉体移动有慢速提拉和快速移动两种模式 ·最大移动行程:200mm ·移动速度范围:0.03mm/hr--30mm/hr(可调,精度+/-1um) ·可根据客户要求来定制炉体移动速度范围 |
密封法兰 | ·一对不锈钢密封法兰,用于密封石英管 ·顶部法兰安装有压力传感器和Φ6.35mm出气口 ·底部法兰有KF25真空接口和Φ6.35mm的进气口 ·底部法兰采用步进电机驱动升降,用于装入和取出坩埚 ·设备中配有一直径25mm×70mmH的石墨坩埚 ·坩埚台安装在底部法兰上 ·真空度:10-2torr(采用机械泵),10-5torr(采用分子泵系统) |
控制面板 | ·触摸屏控制面板可控制炉体移动速度,移动行程和炉体温度和显示坩埚的温度,也可控制炉管内部气压 ·配合加热炉升温曲线设置预提拉时间,例如设置5个小时后开始提拉 ·温度曲线功能,时时显示两条控温曲线和坩埚底部温度曲线,温度曲线数据可以保存记录和导出 ·1个欧陆仪表(Eurothermo)控制一个温区,控温精度+/-0.1℃ ·包含两根B型热电偶 一根热电偶分用于控温 一根热电偶用于检测坩埚底部的温度 ·坩埚台与底部法兰相互连接 ·一个数显压力传感器和电磁阀安装在密封法兰上,用于控制炉管内气压恒定,控制范围:0.01MPa-0.02MPa |
可选(需额外购买) | ·真空度:10-2torr(采用机械泵) 10-5torr(采用分子泵系统) ·可在本公司选购各种真空泵 ·对于一些特别氧敏感材料,可再用本公司的净化系统(H2O,O2<1ppm) 分子泵系统 机械泵 净化系统 |
设备尺寸 | |
质保 | ·一年质保期,终生维护(不包含损耗件,如加热元件,炉管和密封圈等) |
设备净重约 | ·200kg |