立式双温区管式炉 | ·小型开启式立式管式炉 ·工作电压:208~240VAC ·最大功率4KW ·2个加热温区:每个温区100mm,总温区长度200mm ·最高加热温度:1200℃ ·连续工作温度:1100℃ ·2个程序温控器,分别独立控制2个温区,控温精度可达+/-0.1℃ ·用户需找到合适的温度梯度 ·可通过调节2个温区的温度,能创造不同的温度梯度 ·调节炉体打开的直径也可改变温度梯度 ·设备中包含石英管(外径Φ80mm×内径Φ72mm×长800mm)和不锈钢密封法兰 |
炉体移动机构 | ·采用伺服电机来驱动炉体上下移动 ·最大移动行程:200mm ·移动速度范围:0.03mm/hr--30mm/hr(可调,精度+/-1um) ·可根据客户要求来定制炉体移动速度范围 |
密封法兰 | ·一对不锈钢密封法兰,用于密封石英管 ·顶部法兰安装有压力传感器和Φ6.35mm出气口 ·底部法兰有KF25真空接口和Φ6.35mm的进气口 ·底部法兰采用步进电机驱动升降,用于装入和取出坩埚 ·设备中配有一直径Φ60mm×70mmH的石墨坩埚 ·坩埚台安装在底部法兰上 ·真空度:10-2torr(采用机械泵),10-5torr(采用分子泵系统) ·可在本公司选购各种真空泵 机械泵 分子泵系统 |
控制面板 | ·触摸屏控制面板可控制炉体移动速度,移动行程和炉体温度和显示坩埚的温度,也可控制炉管内部气压 ·2个欧陆仪表(Eurothermo)分别控制2个温区,控温精度+/-0.1℃ ·包含3根K型热电偶 2根热电偶分别控制和检测2个温区的温度 1根热电偶用于检测坩埚底部的温度 ·坩埚台与底部法兰相互连接 ·一个数显压力传感器和电磁阀安装在密封法兰上,用于控制炉管内气压恒定,控制范围:0.01MPa-0.02MPa |
设备尺寸 | |
质保 | ·一年质保期,终生维护(不包含损耗件,如加热元件,炉管和密封圈等) |
设备净重约 | ·200kg |
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